Kev sim yuav tsum tau txiav txim siab lub tshuab nqus tsev twj Sizing
Kev xaiv ntawm lub tshuab nqus tsev twj qhov loj yog feem ntau dictated los ntawm cov hom phiaj tshwj xeeb ntawm kev sim. Lub tshuab nqus tsev me me tau zoo- haum rau cov xwm txheej uas tsis tshua muaj tus nqi ntws thiab kev tswj xyuas meej-xws li Chemical Vapor Deposition (CVD) lossis kev ua cov qauv me me-thaum lub tshuab nqus tsev loj yog tsim nyog rau kev sim uas xav tau kev khiav tawm sai lossis kev tuav cov ntim loj hauv ib puag ncig, xws li lub tshuab nqus tsev loj. Cov kev ntsuas tseem ceeb uas yuav tsum tau xav txog yog lub twj tso kua mis lub twj tso kua mis nrawm thiab qhov kawg ntawm lub tshuab nqus tsev, tsis yog nws qhov ntev ntawm lub cev.
Kev ua tau zoo Parameters tshaj lub cev ntim
Pumping Speed Matching: Lub twj tso kua mis cov pa roj ib teev yuav tsum siab me ntsis siab dua qhov kev sim siab tshaj plaws ntawm cov pa roj.
Lub tshuab nqus tsev yuav tsum muaj: Cov kev xav tau sib txawv ntawm ntau lub tshuab nqus tsev sib txawv - nqus tsev vacuum (1000–1 mbar), lub tshuab nqus tsev nruab nrab (1–10⁻³ mbar), lossis lub tshuab nqus tsev siab (<10⁻³ mbar).
Kev soj ntsuam kev sib raug zoo: Lub twj tso kua mis cov khoom siv yuav tsum tiv taus cov roj tshwj xeeb uas koom nrog hauv kev sim (xws li corrosive lossis flammable gases).
Kev siv hluav taws xob sib npaug: Lub zog siv hluav taws xob tsis ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis loj tuaj yeem yog 3 mus rau 5 npaug siab dua li ntawm lub twj tso kua mis me.
Kev txiav txim siab zais zais rau cov kev siv tshwj xeeb
Kev kuaj spatial layout feem ntau yog ib qho tsis pom zoo: Benchtop-style cov twj me me muaj kev txav mus los tab sis ua kom muaj suab nrov, qhov loj hauv pem teb- cov twj tso kua mis yuav tsum tau siv cov kav dej thiab kev teeb tsa. Lub sijhawm ua haujlwm tsis tu ncua tseem cuam tshuam rau kev xaiv- lub twj tso kua mis me me tuaj yeem ua kom sov yog tias ua haujlwm tsis tu ncua rau 8 teev, thaum siv lub twj tso kua mis loj tsis tu ncua ua rau cov khoom siv pov tseg. Tsis tas li ntawd, kev saib xyuas tus nqi sib txawv: qhov ntim ntawm cov roj xav tau rau kev hloov roj hauv lub twj tso kua mis loj yog feem ntau 7 mus rau 10 npaug ntau dua li qhov xav tau rau lub twj tso kua mis me.
