Lub tshuab nqus tsev twj ua haujlwm ntawm qhov nrawm mus txog kaum tawm txhiab tus kiv puag ncig ib feeb yog feem ntau hu ua turbomolecular twj; lawv cov ntsiab lus tseem ceeb yog lub rooj sib txoos rotor uas tig kaum tawm txhiab zaus hauv ib feeb. Qhov kev tsim no ua rau cov roj molecules coj tus cwj pwm zoo li yog ntaus los ntawm lub tshuab ntaus pob tesniv nrawm nrawm, tsav lawv mus rau lub twj tso kua mis lub qhov hluav taws xob. Cov twj turbomolecular niaj hnub tuaj yeem ua tiav kev sib hloov ceev txog li 90,000 RPM- sib npaug ua kom tiav 1,500 kev sib hloov txhua ob.
Cov txiaj ntsig tshwj xeeb ntawm High-Nqus Pumps
Ultra-High Vacuum Levels: Ua tiav qhov kawg ntawm lub tshuab nqus tsev tuaj yeem ncav cuag 10⁻⁸ Pascals- yim qhov kev txiav txim siab siab tshaj qhov ua tiav los ntawm cov twj siv tshuab txheem.
Kev huv thiab huv huv -Dawb: Tsis tas yuav tsum muaj cov roj lubricating, yog li tiv thaiv cov roj vapor rov qab thiab cov kab mob tom qab ntawm lub tshuab nqus tsev.
Rapid Pumping: ncav cuag lub tshuab nqus tsev ua haujlwm hauv peb feeb ntawm kev pib.
Multi-Stage Synergy: Ua kom muaj txiaj ntsig zoo los ntawm kev sib xyaw ua ke ntawm molecular luag thiab tshuab compression.
Hom Daim Ntawv Thov Scenarios
Hauv kev lag luam semiconductor, cov khoom siv no yog siv rau cov txheej txheem wafer txheej; Hauv kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb, lawv pab cov particle accelerators hauv kev tswj hwm ultra- qhov chaw nqus tsev siab. Kev kho mob CT scanners kuj tso siab rau lawv los khaws lub tshuab nqus tsev ntawm X-ray raj, thaum lub tshuab ntsuas infrared hauv cov cuab yeej saib hnub qub nyob ntawm lawv kom tshem tawm cov suab nrov thermal cuam tshuam los ntawm huab cua molecules.
